电子信息
用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器

专利号

2018110874344

专利类型

发明专利

申请日

2018-09-18

专利权人

西安理工大学

授权日

2019-07-23

法律效力

授权

摘要

 

本发明公开了一种用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器,包括传感器基底,传感器基底上表面为电流感应薄膜,用于输出传感器响应电流,传感器基底下表面为粘合材料层,用于固定传感器基底,电流感应薄膜上设置有气敏探针阵列,气敏探针阵列外部涂覆有无定型氟聚合物层,其中,传感器基底采用聚四氟乙烯或者液态硅胶材料制成,电流感应薄膜采用金属材料制成,通过屏蔽电缆输出响应电流,粘合材料层为低渗透性的聚丙烯薄膜,气敏探针阵列材料为对氟原子敏感的叶绿素,气敏探针阵列利用等离子体化学气相沉积法制备而成,本发明解决了现有技术中缺乏能够精确检测环境友好型SF6替代气体分解组分的设备的问题。