材料化工
一种绒面透明导电薄膜及其制备方法

专利号

2017111621860

专利类型

发明专利

申请日

2017-11-21

专利权人

西安理工大学

授权日

2019-12-24

法律效力

授权

摘要

 

本发明公开了一种绒面透明导电薄膜,以石英玻璃为基底,在基底上依次沉积有Pt层、TiO2薄膜层及FTO薄膜层,形成的FTO/TiO2/Pt复合薄膜作为薄膜太阳电池的前电极;其制备方法为,在不高于100℃的条件下采用磁控溅射技术,在石英玻璃衬底上沉积Pt层;制备喷涂液A;通过喷雾热解工艺将喷涂液A喷涂在Pt层上得到TiO2薄膜层,对制备的TiO2薄膜层进行退火处理,得到缓冲层;制备喷涂液B;通过喷雾热解工艺将喷涂液B喷涂在缓冲层上得到FTO薄膜层,最后退火处理。本发明制备的薄膜与单一的TCO薄膜相比,其雾度明显提高,导电性能良好,光学透过率高,适用于太阳能电池前电极透明导电薄膜的要求。