项目综述
微型机械制造加工系统作为超精密加工的一部分,是由一般制造加工系统向超精密制造加工系统过渡的关键技术。我国一直对制造加工行业非常重视,其中微型机床作为其中一个重点发展方向。桌面式微型机床体积小巧,可以使用先进的制造加工方法,对微小零件进行精密加工,可广泛用于航空航天、微电子、现代医学和国防工业等。
课题组在精密微细加工装备及工艺等进行了前期基础研究并取得一定的成果,自主研发设计出适用于特殊精密微细加工的超精密小型机床,分辨率达到纳米级,加工精度达到亚微米级,以及超精密小型研磨机床,实现粗糙度纳米级的镜面研磨加工。